低GWP值刻蚀技术研究新平台揭牌仪式举行

UNIST与蔚山的代表公司Foosung Co., Ltd.建立了新的合作伙伴关系，该公司被称为半导体行业特殊气体的领军人物。

12 月 15 日，UNIST 正式宣布启动他们新的联合研究平台，以帮助减少碳排放，创造更清洁的未来。此次联合研究的目的是为开发低全球变暖潜能值(GWP)刻蚀技术建立一个开放的联合研究平台。还举行了挂牌仪式，庆祝新的研究平台“ Foosung Co., Ltd.-UNIST Joint Research Platform ”的启用。

仪式按照联合研究平台简介、祝贺词、“复星——UNIST联合研究平台”挂牌仪式的顺序举行。

通过该平台，两家机构同意在以下领域深化合作：△低GWP值蚀刻气体及相关技术的开发，△下一代半导体工艺技术和材料的开发，△下一代源头技术的发现通过产学合作技术交流会，△研究设施设备联合使用，△研究人员交流，△科技信息和经验交流，△人才培养。